东莞80后全国劳模刘鹏：建国际最大的HVPE设备

　　近日，2015年全国劳动模范和先进工作者表彰大会在北京人民大会堂举行。来自东莞的80后科研工作者刘鹏勇夺“全国劳动模范”称号。这位从事最前沿的半导体材料研究工作的年轻人，仅个人发明专利就达到40多项，五年前入选东莞科技领军后备人才培养队伍。

　　带领团队打破国际技术垄断

　　1981年出生的刘鹏，于2008年取得北京大学物理学院硕士学位，目前在东莞中镓半导体科技有限公司担任研究部主任。

　　这是一家以生产光电行业衬底材料为主的高科技企业，其生产的“氮化镓基”器件，在国内和国际市场都是紧俏货。但是，长期以来，相关的生产设备一直被国外垄断。

　　2009年初，刚入职不久的刘鹏凭借着过硬的科研底子，成功设计出单片基HVPE。一台单片HVPE设备，一天只能生产一张单晶片。这种单晶片是用来做半导体光电器材的。可别小看这个不超过30克的小东西，它的市场价可达到2万元每片，比黄金还要昂贵。而它的生产成本每片为6000元至7000元。

　　为了提高产能，刘鹏带着团队用了18个月时间，终于打破国际技术垄断，2010年成功组建6台三片基HVPE设备，投产后生产效率提高3倍，且成品率达到90%。就在这一年，刘鹏入选为东莞科技领军后备人才培养队伍。

　　建国际上最大的HVPE设备

　　事实上，国际上GaN衬底材料仍十分稀缺，也没有实现大规模产业化，而且成本高昂，不适用于普通产品。

　　国际上一般认为，谁先解决GaN单晶衬底制备的关键科学和技术问题，并实现产业化生产，谁就会占据未来III族氮化物半导体研究和产业化的战略制高点。

　　因此，刘鹏带着团队着手设计MOCVD-HVPE二合一的大尺寸、多数量先进设备，同时开发适合产业化的21片HVPE机型，向着“制造出行业技术领军设备”的目标前进。

　　最近两年，21片HVPE机型开发进展顺利。据透露，目前已完成主体任务，新设备正处于调试运行阶段，暂未能投入生产线。

　　事实上，一旦21片HVPE机型研制成功，将成为国际上最大型的HVPE设备。更重要的是，一旦21片HVPE机型实现产业化生产，产量将是如今的好几倍，经济效益可想而知。

　　公司相关负责人评价说，刘鹏不但具有较强的技术功底，还有着踏实勤勉的科研作风。近年来，他申请发明专利40多项，发表论文3篇。作为课题负责人，刘鹏承担了广东省专利技术实施计划项目1项，参与完成了广东省科技厅3个科技计划项目的工作，并通过项目验收。

关键词：劳模,东莞